主要特点
l 质量流量混比法
l 精度高、重复性好
l 800×480 TFT触控屏
l 全进口气路快插件，使用方便
l 具备自校准功能，自动修正流量体积
l 稀释气体可多选，目前支持：SF6、N2、O2、Air等
l 可配置多组分气体，目前可支持3种组分混比气
l 具备程控配气方式，可在特定时间段内输出特定成分气体
技术参数
流量范围 | 配气通道0～150mL/min，平衡通道0～600mL/min |
准 确 度 | ±1.0% F.S |
重 复 性 | ±0.2% F.S |
zui大输出流量 | 1000ml/min |
zui小输出流量 | 2% F.S |
zui大稀释比 | 200：1 |
工作电源 | AC 220V/50Hz |
工作环境 | 环境温度：-20℃～60℃ 相对湿度：0～90%RH |
管道连接 | 高级特氟龙管快插连接 减压阀：* |
尺 寸 | 约470mm×370mm×240mm |
