主要特点
经过净化的SF6气体质量标准:
露点 | <80μL/L |
油份 | <10μL/L |
固态颗粒直径 | <1μm |
酸性物质 | <0.5μL/L |
分解产物 | <1μL/L(以SO2、H2S、CO、HF的总和计) |
辅助液化回收装置参数:
压缩速率 | ≥10Nm³/h |
制冷剂 | R404a |
理论回收能力 | 15min内50kg液态六氟化硫(前级有充足气源) |
电源 | AC380V±10% 50Hz |
功率 | <6kW |
技术参数
尾气处理装置参数:
处理速率 | ≥10Nm³/h |
年泄漏率 | ≤1‰(任意位置检漏仪小于10ppmv) |
极限真空度 | ≤50pa |
电源 | AC 380V±10% 50Hz |
功率 | <3kW |